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LED多层光学DBR膜镀膜用真空设备Sapio-DBR (SGC-S1550i S1300i 系列设备）
超高性能光学薄膜用镀膜机 Sapio 1300 1550
原子层沉积设备 ALD系列
剥离成膜、厚膜成膜、低温成膜多功能型 真空蒸镀设备 SEC-22C
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